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小角衍射附件配置相應附件可以進行小角衍射，角度范圍從0°-5°可對納米多層薄膜的厚度測試。

多功能集成測量附件用于板材、塊材及基板上的膜的分析，并可對其進行晶相檢出、取向、織構、應力、薄膜面內(nèi)結構等測試。

石墨彎晶單色器是安裝在X射線探測器前，將通過接收狹縫后的X射線單色化，只檢測X光譜的Kα特征X射線的部件。使用該裝置，可以全部消除連續(xù)X射線、Kβ特征X射線和熒光X射線，可以進行高信噪比的X射線衍射分析。當銅靶X射線管和對應的單色器配合使用時，可以消除從Mn、Fe、Co、Ni系樣品中產(chǎn)生的熒光X射線，可適用與多種樣品的分析。

旋轉(zhuǎn)樣品臺 樣品可以在自身平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，有利于晶粒粗大引起的誤差，對有織構和晶癖的試樣測量，保證衍射強度有很好的再現(xiàn)性，消除擇優(yōu)取向。

多功能樣品臺可以對微量的粉末樣品進行測試，也可對片狀、大尺寸或不規(guī)則、不能裁剪、無法研磨成粉末的樣品進行測試。

6位（12位）自動換樣器采用進口步進電機驅(qū)動，由進口西門子可編程序控制器（PLC）控制，無需人工換樣，系統(tǒng)自動連續(xù)測樣，自動保存數(shù)據(jù)。一次可以裝載6個樣品進行連續(xù)測量。